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真空度测试仪的研制与应用

返回打印来源：仪天成电力时间：2013/07/30 阅读：次

       真空度测试仪的主（zhǔ）要作用是,根据磁控放电的（de）方法测（cè）量真空泡内（nèi）离子电流（liú）,以此（cǐ）量测量（liàng）泡内真空度,并可用于评定真空泡使用寿命。该测试仪既可用（yòng）于真空泡出（chū）厂检测（cè）流水线,也可单独（dú）进行测量。
       基（jī）本（běn）工作原理
       磁控放电法测试真空度的基本原理如下:将真空泡两触头拉开一（yī）定（dìng）的开距,并置于通有大电流的螺线管内,在两触头（tóu）间施加高压脉冲（chōng）,从而在真空泡内产生高压（yā）电场和轴向脉冲磁场（chǎng）。这样,在脉冲强磁场（chǎng）和强电场的（de）作用下,真空泡（pào）中的电子作（zuò）螺旋运（yùn）动,并与残余（yú）气体分子发生碰撞产生电离,生成的离（lí）子电流与残（cán）余气体密度即真空度近似成比例关系（xì）。
       研制（zhì）的测试（shì）仪可用于测量（liàng）泄漏电流、全电流（liú）和（hé）离子（zǐ）电流3个（gè）电流值。
       (1)泄漏电（diàn）流。将真空泡动静触头拉开一定的间距,并加高压直流脉冲电压,则会（huì）在两触头间、触（chù）头和屏（píng）蔽罩间产生强电场。根据场致发射（shè）理（lǐ）论,阴极和屏蔽罩表面（miàn）会发射出电子,向阳极运动,形成电流,即泄漏电流。由于电子的自由行程远远大于两触头间距,电子几（jǐ）乎不与真空泡内残余气体分子发生碰撞,所以泄漏电流不能（néng）正确反应真空泡的真空度。
       (2)全电流。为了使泄漏电流的（de）电子能够与残余气（qì）体（tǐ）分子发生碰撞,目前常用的方法（fǎ）是在轴向上加一较强（qiáng）的磁场,使得场致发射的电（diàn）子在电场和（hé）磁场的共同作用下发生螺旋运动,这加大了电子运动的行程（chéng）及与残余气体（tǐ）分子发生（shēng）碰撞的概率。当电子与（yǔ）残余（yú）气体分子发生碰撞后会（huì）产生电离现象,并形成稳定的自持放电,这时测量出的电流值为全电流值。
       (3)离子电流。全电流的测量值包括了阴极和屏蔽罩发射的泄漏电流,以及残余（yú）气体（tǐ）被碰撞后产生电离的离子电（diàn）流（liú）。为了准确测量真空泡内的真空度,还（hái）得从全电流中减掉泄漏电流值（zhí）,得到的才是真正反映真（zhēn）空泡（pào）真空度的离子电流值。真空泡使用寿命评定原理:真空泡随着正常使用时间的增长,内（nèi）部真空度也呈线性增（zēng）加。通过测定两（liǎng）个间隔时间比（bǐ）较恰当时的真空度,就可（kě）确定其变化率,从（cóng）而确定使用过任（rèn）意时间后真空泡真空度的（de）大小。

      主题（tí）词：真（zhēn）空度测试（shì）仪工作原理（lǐ）

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